...钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀,至少有一个紧急切断按钮距离气源不低于4.6m。——硅烷放空不得排入抽风系统,硅烷尾气排放应经过处理,如采用燃烧式尾气处理器。排放管道应使用氮气连续吹扫,吹扫最低流速为0.3m/s。6....